二手 LAM RESEARCH 4526 #9135993 待售

LAM RESEARCH 4526是一款為半導體晶圓加工而設計的蝕刻器/asher。這種多功能儀器能夠對包括光刻膠、金屬、氧化物、氮化物等在內的多種材料進行蝕刻和灰化。它是一種用途廣泛的工具，用於陣列的應用，如陣列，摻雜，等等。該系統配備了兩個強大的等離子體源，使其能夠在高達385 °C的最高溫度範圍內處理直徑達200 mm的晶片。該機還具有先進的溫度控制和均勻性監控功能，用戶可以精確加熱或冷卻樣品。此外,4526還配備了高速下遊機器人龍門,實現了快速可靠的物料傳輸。該系統帶有缺陷跟蹤和自動洗室等高級軟件功能，以及可用於將蝕刻和灰化過程調諧到不同基材的各種工藝配方。這允許用戶為每個應用程序創建自定義的蝕刻配方,從而確保卓越的工藝效果。由於其靈活性，LAM RESEARCH 4526適合廣泛的生產工藝。該機旨在優化晶圓吞吐量，提高產率，減少汙染。此外，強大的控制套件和直觀的軟件大大提高了機器的多功能性和用戶友好性。這使得它成為研究和行業應用的絕佳選擇。總而言之,4526是一款可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher,旨在滿足用戶的需求。其先進的特性，加上其高性能，使得它成為任何晶圓加工實驗室的明智選擇。