二手 LAM RESEARCH 4526 #9249911 待售

LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch設備是一種可靠、高效的Asher/Etch系統,旨在為各種基材提供統一的加工覆蓋面。這一單元是中高批量生產運行的絕佳選擇，能夠處理各種各樣的底物，並允許廣泛的工藝化學。該機設有一個機器人安裝的RAIE（遠程大氣控制）蝕刻室以及一個IC金屬化室，用於金屬和電介質的沈積。機器人鉸接四個獨立的機器人臂，由上下臂組成，使工具既能處理錯綜復雜的表面，又能處理光滑的表面。4526配備了最先進的IV級工藝控制器技術之一，提供了快速的處理速度，消除了手動調整的需要。其用戶友好的觸摸屏界面允許用戶實時查看所有流程，而流程配方和模板庫則允許高度的流程可重復性和控制性。LAM RESEARCH 4526還具有先進的安全功能，如物理安全鑰匙、車載安全激光柵格以及防錯對準、防埋保護功能。此外,該資產還包括在線檢查和詳細的過程監控功能,允許滿足最高需求的生產運行。4526型號具有廣泛的工藝能力,包括反應性蝕刻、拋光、脫墨、退火和自旋/隔離清洗。它具有+/-1微米精度的高精度能力，允許小半導體元件的精確修剪和形成。此外，設備的高真空密封蝕刻環境確保了均勻的輪廓和最高的工藝產量。總體而言,LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch系統是一種高效可靠的中高批量生產運行解決方案。它的高級功能和用戶界面可實現高水平的工藝控制,確保在廣泛的基板上實現統一的加工覆蓋面,並獲得優異的工藝產量。