二手 LAM RESEARCH 4528 #9011007 待售

LAM RESEARCH 4528是一種為矽片的高精度蝕刻而設計的蝕刻器/asher設備。該系統允許精確蝕刻或灰化矽片在兩個完美定義的圖樣和隨機模式。該單元可同時支持批量和單片加工，精度高達1微米。蝕刻過程中使用的壓力、溫度和摻雜劑濃度可以精確調整，以滿足手頭應用的需要。機器由主室和上室兩個室組成。主室容納等離子發生器、氣體裂解器、淋浴頭噴射器、高電流電源等部件。上室包含裝卸籃或吊艙和預調理工具。主室中產生的等離子體用於蝕刻上室中的晶片，而上室中存在的孵化資產則有助於保持蝕刻過程的一致性。該模型在70-150攝氏度和1-10托爾的壓力範圍內運行。憑借其集成的工藝控制和現場診斷能力，設備能夠提供連續一致的蝕刻工藝。集成過程監控允許對蝕刻過程進行緊密而準確的控制，能夠檢測過程參數的任何變化，如溫度、壓力或摻雜劑濃度，並在幾秒鐘內進行校正。該系統還能夠對均勻度高達1微米的矽片進行精確蝕刻和灰化。該單元還提供均勻的氣體分布，確保晶片均勻均勻的蝕刻。氣體質量在整個蝕刻過程中被精確控制，提供一致的蝕刻和均勻的表面光潔度。機器還允許在一個過程中蝕刻多個晶片，從而無需手動處理和加載每個晶片。4528是為矽片的高精度蝕刻而設計的先進蝕刻器/asher工具。由於其精確的工藝控制、精密的蝕刻和均勻的氣體分布，這一資產因其可靠的結果和可重復性而受到許多企業的青睞。