二手 LAM RESEARCH 4528 #9136807 待售

LAM RESEARCH 4528 Asher/Etcher是一種用於半導體制造的自動等離子蝕刻工作站設備。該機設計用於精密等離子體蝕刻和取向器拆卸,具有可重復的效果.它具有多區域、高分辨率、自補償端點檢測設備。該單元能夠以低頻或高頻模式運行。該裝置由一個擺臂和兩級真空系統構成，其中包括一個高溫的獨立腔室。真空裝置提供可密封和可凈化的真空操作，為操作提供安全的環境，允許無汙染的操作和過程。它還具有一個活動的圓形目標卡盤與射頻架.4528支持廣泛的工藝能力。它能夠蝕刻多達350毫米的晶圓。它具有先進的第一步蝕刻機，配置了多套獨立的氣體噴射器。先進的第一步蝕刻有助於提高蝕刻的重復性和一致性。它還有一個長期穩定的工具，用於可靠的蝕刻和水和化學品回收利用的原地資源回收。此外，該裝置還具有較高的等離子體惰性氣體流量，可進行一致的蝕刻速率控制。該裝置配備了綜合自動化資產，用於晶圓的遊行和處理。它具有用於常規操作和自動驗證的IQ/OQ/PQ模型。自動化功能包括晶圓映射、盒式磁帶到盒式磁帶托盤傳輸、迷你環境模式和快速過程監控。該設備還配備了自動啟動設備，用於維護和縮短啟動時間。LAM RESEARCH 4528旨在支持各種配方和工藝,包括標準蝕刻、混合物種蝕刻、各向異性/各向異性蝕刻、深度蝕刻、抗蝕條和深層清潔。它支持各種蝕刻氣體，如氧基、氟碳基、惰性基和氯基。它還具有較低的系統總擁有成本和較低的過程復雜性。它按照半導體潔凈室標準制造，是蝕刻工作最搶手的工作站。