二手 LAM RESEARCH 4528 #9200106 待售

LAM RESEARCH 4528是一種著名的蝕刻/灰化設備，在半導體制造中使用了多年。它用於需要對金屬和介電材料進行蝕刻或灰化的各種工藝中。它最常見的應用是在半導體晶片上對薄膜進行圖樣化，提供高精度的光滑ashing過程。該系統由一個數字成像陣列（DIA）供電，該陣列測量一系列光學參數，包括光強度、反射和折射。這有助於確保所需圖樣的精確蝕刻。相機聚焦蝕刻室，該蝕刻室有熔融化學蒸氣沈積（MCVD）板提供蝕刻材料。它還有一個真空沈積裝置，能夠將不同的化學物質沈積到晶片表面，從而產生均勻蝕刻。4528具有內置的自動調整功能,允許用戶設置蝕刻參數,而無需每次手動調整它們。這樣可以消除潛在的錯誤並提高流程的效率。LAM RESEARCH 4528還具有內置的安全功能,可防止機器在溫度過高、過壓或過熱等不安全水平下運行。這樣可以確保微加工過程安全可靠。在操作方面，4528有一個用戶友好的界面，提供完成蝕刻和灰化過程所需的所有信息。機器可以編程為以各種模式運行，如通用、逐批或單樣模式。此外,LAM RESEARCH 4528還支持進一步定制特定作業的蝕刻參數。4528工具以可靠性和性能著稱。它易於使用、準確、高效，在多種材料上提供高質量的蝕刻和灰化效果。資產還提供了高水平的安全性，使其成為任何微機加工過程的理想選擇。