二手 LAM RESEARCH 4600 #293764324 待售

LAM RESEARCH 4600是一種高級蝕刻器/灰化器,適用於各種半導體應用。4600的基本設計包括兩個獨立的灰化室，每個灰化室能夠提供各種蝕刻深度、溫度和化學物質。這樣可以完成復雜的蝕刻過程,同時提供出色的均勻性。LAM RESEARCH 4600有專門的抽水設備，以產生更強的工具性能和減少汙染。柔性泵送系統允許專用氣體清洗能力、壓力控制和動態氣體流動感應。多個腔室能夠保持過程穩定性，降低顆粒的汙染潛力。4600具有多項創新功能,非常適合蝕刻和灰化應用。其獨特的「幹蝕刻技術」是蝕刻淺溝槽和小通風的首選，使其非常適合各種應用要求。該裝置還采用了三步「幹灰化」工藝，旨在通過將幹氧化和幹蝕刻相結合，實現高蝕刻率和低殘留量。這允許去除有機的，小的特征尺寸，保形層和金屬電介質具有很高的精度和方便。LAM RESEARCH 4600采用了可靠的過程控制工具,包括預測模型和特征識別,以確保質量產量。這提供了極大的精確度和可重復性,確保了流程的可重復性,同時消除了手動幹預的需要。4600除了其過程控制特性外，還具有高速旋轉特性，以減少蝕刻時間。這有助於加快蝕刻過程,並最大限度地減少因凹凸不均勻而形成的缺陷。該機器還具有幾個用戶友好的界面選項，這使得它成為入門級和高級蝕刻器/asher用戶的絕佳選擇。LAM RESEARCH 4600是一款先進的蝕刻器/灰化器，旨在提供廣泛的蝕刻深度、溫度和化學特性，以滿足現代半導體應用的需要。該工具采用了強大的過程控制工具、高速旋轉功能和用戶友好界面,使其成為新手和經驗豐富的用戶的絕佳選擇。