二手 LAM RESEARCH 4600 #293807556 待售

LAM RESEARCH 4600是一種最先進的蝕刻/asher設備，設計用於在廣泛的基板上蝕刻、粉刷和圖案化導電和非導電層。它具有生產就緒的各向同性蝕刻能力，允許工藝吞吐量和晶圓均勻性達到或超過行業標準。4600系統具有13.56 MHz電感耦合等離子體（ICP）源,用於蝕刻和灰化應用。它具有較低的射頻發電機功率，允許在臨界工藝層如淺層結精確蝕刻控制。腔室尺寸允許最大25 「x 50」的大型盒式磁帶。它還提供了一種雙頻發生器，能夠在氧化鋁和介電硬掩模上進行蝕刻，在多種材料蝕刻配方中提供了額外的優化級別。LAM RESEARCH 4600還具有手動和自動化功能,允許客戶根據其生產需求選擇生產力最高的操作。它具有用於配方設置和晶片裝卸的集成機械臂。該單元還使用實時自動配方優化（ARO）機進行雙向參數優化，並在處理過程中進行原位調整。4600提供了具有精確配方的快速處理時間,提供了高吞吐量和最佳效果。這使客戶能夠通過最少的操作員幹預來實現成本節約和吞吐量提高。該工具還配備了高級流程監控和診斷功能,使客戶能夠對其流程進行故障排除和優化。此高級資產提供了無與倫比的流程靈活性和控制能力,使客戶能夠生產壽命更長的可靠、高性能產品。LAM RESEARCH 4600是需要精密蝕刻和高產率且停機時間最短的應用程序的理想選擇。