二手 LAM RESEARCH 4600B #9100790 待售

LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher用於半導體制造過程中的關鍵應用。此蝕刻器asher旨在提供可靠且統一的蝕刻和灰化功能,以幫助您的過程通過優化的過程控制以最大的能力運行。它具有自動過程集成的特點，用於運送消耗品以及主動屏蔽，以消除接觸危險化學品的可能性。該設備還利用多區氣體輸送系統對蝕刻劑和灰燼氣體進行精確的微米級控制。4600B是一個多室測試器/asher單元。它為電介質、聚酰亞胺、濺射金屬等提供了特定的蝕刻能力。它還具有一個用於晶片塗層和金屬氧化物蝕刻的單步腔室。該機還具有兩階段蝕刻工藝，以確保可重復的過程均勻性和最佳的控制。第一個腔室提供一個自由基蝕刻，而第二個腔室執行一個幹凈和溫柔的完成蝕刻。LAM RESEARCH 4600B還具有過程監控功能,可幫助確保完整的蝕刻過程保持在規格範圍內。此過程監視工具包括一個光圈監視器,用於測量蝕刻速率,同時還提供整個過程的概述。此外,該資產還具有一個壓力指示器來幫助監控過程壓力,以及一個氣體流量監控器來跟蹤蝕刻劑/灰分氣體的流速。4600B還提供了一系列可靠的構造,以確保模型不會出現問題。它具有四區載荷鎖定和重型不銹鋼結構的特點，具有優異的性能和可靠性。它還有一個綜合工藝排氣設備和多個故障安全機制，以提高安全性和更大的運行穩定性。最後,LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher提供了可重復、可靠的蝕刻和灰化功能,以幫助制造商在管理過程控制的同時最大限度地運行其過程。它具有用於介電和金屬工作的多室設計，以及精確的微米級蝕刻和氣體輸送能力以及過程監測系統。該系統還采用了四區載荷鎖定和重型不銹鋼結構，具有優異的性能和可靠性。