二手 LAM RESEARCH 4720 #293640844 待售

LAM RESEARCH 4720是一款用於半導體制造行業的高性能蝕刻/asher設備。它配有一個8英寸的基板，一個用於多個基板加載的模具板，五個源板，以及兩個用於高速晶圓蝕刻的射頻發生器。該系統采用直觀的開放式體系結構設計，每次傳輸最多可處理十六個基板。該裝置還提供精確的位置控制和多氣體輸送能力。4720可用於等離子體蝕刻、低溫蝕刻和各種基材的灰化，包括矽、鈦、鋁、金、銅。精密可調射頻發生器為可重復蝕刻配方提供了精確控制的等離子體參數，並獲得了高質量的結果。其快速、高效且無汙染的蝕刻工藝可從基板表面清除任何不需要的材料,從而實現精確的設備特性。其他特性包括高精度的穿孔板以實現卓越的均勻性，以及高通量的氣體輸送系統以確保低耗散率。此外，該機還支持高長寬比蝕刻和通過厚層蝕刻的能力。LAM RESEARCH 4720能夠對蝕刻室進行預處理、預清洗和後沈積清洗。它采用大型氣泡罐和循環加熱器設計，以確保浴室溫度在蝕刻操作中保持穩定和一致。它還帶有真空線真空接口，有助於減少汙染並使工具更加可靠。集成腔室視覺資產提供了對過程的增強視圖,從而實現晶圓對齊、過程監控和診斷。4720為復雜的蝕刻和清潔操作提供了卓越的準確性、可靠性和可重復性。它是滿足當今先進半導體器件制造工藝要求的理想模型。