二手 LAM RESEARCH 4720 #9272634 待售

LAM RESEARCH 4720 蝕刻器/asher是一種全自動濕蝕刻設備,旨在提供無與倫比的工藝質量和高通量。這種設備能夠在各種金屬和電介質中執行幹濕加工功能。有了多種預先編程的功能，4720 蝕刻器/asher可以處理8英寸到200毫米不等的各種晶片。該工具的快速蝕刻速率和靈活性使其非常適合高密度等離子體蝕刻、薄膜沈積、光刻灰泥和濕蝕刻等應用。LAM RESEARCH 4720 蝕刻器/asher由三個主要組成部分組成；化學輸送模塊、腔室組件和電源模塊。化學輸送模塊在蝕刻過程中提供蝕刻溶液、光敏溶劑和其他化學品。腔室組件包含一個通用槍管，旨在支持廣泛的蝕刻應用和工藝選項。電源模塊包含一個高壓電源,用於提供蝕刻過程所需的高壓。該系統還支持各種後蝕刻步驟。4720 蝕刻器/asher平臺使用戶能夠選擇最佳流程配方並實時監控流程。工具的集成控制單元為用戶提供了廣泛的控制選項，包括控制氣流和壓力、控制蝕刻溫度、控制蝕刻速率以及控制總處理時間。此外,用戶還可以在蝕刻過程中監視進程狀態、查看實時進程視頻、調整進程參數或保存數據結果。LAM RESEARCH 4720 蝕刻器/asher旨在實現過程與性能的完美平衡。它旨在提供無與倫比的流程可重復性、性能、易用性和最大吞吐量。它還設計方便，安全操作和訪問後蝕刻外圍設備。通用的4720 蝕刻器/asher機提供了一種適合多種應用的卓越蝕刻工藝。