二手 LAM RESEARCH 4720W #9144773 待售

LAM RESEARCH 4720W是專門為去除晶圓、面膜、鋁箔、玻璃等基板上的光致抗蝕劑、金屬膜和其他表面層而設計的蝕刻器/粉碎器設備。它利用機械和化學技術相結合，提供高性能的蝕刻/灰化應用。4720W能夠同時處理多種基材,蝕刻速率高達2 um/min,吞吐量高達每小時200個4英寸晶圓。它易於維護和全面的安全特性使其成為各種實驗室和生產應用的理想選擇。LAM RESEARCH 4720W由幾個關鍵組成部分組成。其等離子體源具有兩種二極管型等離子體源，一種化學氧化物灰化器（COA）和一種等離子體蝕刻器（PE）。PE源為蝕刻提供了受控且均勻的等離子體，而asher源則提供了用於光致抗蝕劑去除、金屬膜蝕刻或其他灰化應用的短時化學反應過程。此外,4720W還配備了靜電卡盤、氣控淋浴頭、晶圓卡盤夾具和排氣蓋。LAM RESEARCH 4720W的等離子體控制系統提供了一系列不同的工藝和參數，允許高精度的蝕刻和灰化應用。其高級過程控制器軟件具有圖形用戶界面，用於優化配方開發和過程控制。此外，4720W還配備了三區氣體和壓力控制裝置，用於精確的室內大氣控制。LAM RESEARCH 4720W設計方便,操作安全.LCD控制器易於操作,其全面的安全功能（包括符合CE規定）使其非常適合實驗室和生產環境。此外,其緊湊的設計和減少的占地面積使其易於安裝和與現有生產線集成。總體而言,4720W是一臺功能強大的蝕刻機/asher機,非常適合各種工藝應用。其高蝕刻速率、吞吐量和靈活的工藝使其成為實驗室和生產環境的可靠選擇。此外,它易於維護和全面的安全特性使其成為各種應用程序的理想選擇。