二手 LAM RESEARCH 4720W #9149817 待售

LAM RESEARCH 4720W Asher是來自LAM RESEARCH的最先進的半導體濕蝕刻設備。這種濕蝕刻系統設計為在半導體工藝開始時提供高工藝均勻性和產率。4720W能夠快速高效地生產薄膜,是多種工藝的寶貴工具。該單元采用三通道等離子蝕刻頭設計，允許同時蝕刻多達三個模具。其先進的膜閥技術準確地提供了兩種用於獨立流量控制的反應性氣流。這使用戶可以精確定義蝕刻動力學,以實現基板表面的最大均勻性。膜閥機也減少了蝕刻工具中的顆粒汙染量。LAM RESEARCH 4720W具有單晶片負載鎖定功能,可方便地將在線晶片從輸入級傳輸到高真空處理室。在該過程中，磁懸浮旋轉卡盤保持基板溫度均勻性。卡盤旋轉扭矩經過長時間控制，進一步支撐了蝕刻結構的質量。該資產還具有低溫烘烤能力，允許用戶在不燃燒底層基板的情況下進行高溫處理。4720W包括使用三次過濾的先進粒子管理模型。這種先進的過濾設備確保在加工過程中只向蝕刻結構輸送清潔顆粒。它還最大限度地減少了工藝室內的汙染。此外，LAM RESEARCH 4720W具有實時端點檢測功能，可用於監控蝕刻輪廓，以及監控蝕刻過程的進展和均勻性。這種實時監控功能使用戶能夠快速檢測任何流程轉移並快速進行調整。4720W Asher是一種可靠、經濟高效的半導體蝕刻工具。其先進的技術和三重過濾系統使用戶能夠在短時間內蝕刻高度均勻的結構。因此，半導體器件制造商在其制造過程中使用這種器件可以大大受益。