二手 LAM RESEARCH 480LRC #9187407 待售

LAM RESEARCH 480LRC是一種蝕刻器/asher,專為半導體和其他材料而設計。它結合了蝕刻、灰化和其他過程，以創建具有非常高的重復性和準確性的精密元件。LAM 480LRC是一種堅固、高度堅固的8kW源電源蝕刻器/asher,能夠在一系列基材中提供高蝕刻速率和卓越的均勻性。它具有集成的腔室設計、電子控制和報告、精確的等離子體流量控制以及先進的負載鎖定能力，以提高吞吐量。LAM RESEARCH 480LRC是一種全自動蝕刻器/asher,具有單源電源和基板傾斜的單面蝕刻。它使用離子濺射和離子蝕刻原理從基板表面去除材料。傾斜的單平面蝕刻可確保所有基板表面均勻蝕刻,從而創建高質量、均勻且具有卓越可重復性的零件。蝕刻器的蝕刻速率高達8 kW, 480LRC可以快速準確地進行蝕刻,從而產生復雜的圖樣和非常高精度的蝕刻。此外，LAM LAM RESEARCH 480LRC還提供了許多先進的功能，使其非常適合於厚薄膜基板的蝕刻和粉刷。也可用於溝槽蝕刻、邊緣修剪、高長寬比蝕刻。480LRC獲得專利的氣流控制系統使其成為生產光滑表面拓撲和高寬高比結構的理想選擇。它還能夠在保形和選擇性蝕刻模式下操作，適用於多種基材。LAM RESEARCH 480LRC在各種條件和各種基材下進行可靠可靠的蝕刻。它可以處理長期蝕刻項目，提供高精度的可重復結果。其精密的控制和監控系統使它易於操作，並跟上其不斷變化的參數。它具有在單個蝕刻平面上高精度蝕刻精密圖案的能力，是形成半導體元件的理想之選。LAM 480LRC具有自動電源管理系統和集成的負載鎖定功能,可提高吞吐量,是可靠可靠的蝕刻解決方案。