二手 LAM RESEARCH 490 / 480 #9365712 待售

LAM RESEARCH 490 / 480
ID: 9365712
Etchers.
LAM RESEARCH 490/480是一種高速傾斜角蝕刻器/asher,用於蝕刻鈍化層等敏感材料,特別是聚酰亞胺和多晶矽。利用二元氣體註入系統對蝕刻或灰化過程的化學和溫度進行精確控制。490/480使用等離子體以一種速度分解材料的分子結構,通常快於濕法化學蝕刻。LAM RESEARCH 490/480設計了一個傾斜的晶圓卡帶,它允許更快,更均勻的蝕刻。盒式磁帶便於重新組裝,便於提取裝載的基板。蝕刻器傾斜的角度有助於防止因湍流引起的化學沈澱,從而導致底切和化學分離。這種設計還有助於確保在整個基板上均勻蝕刻。這種蝕刻器使用可編程的氣體控制裝置,該裝置能夠綜合控制多達22種氣體,從而可以應用特定於材料的蝕刻和沈積配方。配方文件允許同一進程的精確重復應用程序。此外,溫度循環、遠程診斷和監視以及配方存儲進一步促進了優化和一致的結果。490/480可以多種模式運行,包括蝕刻、灰燼、清潔和幹燥,允許多步驟過程,如原位鈍化,以減少基板裸露表面的殘留物。系統執行高均勻度的蝕刻到10納米,吞吐量為每小時170個晶圓,同時消除通常與濕蝕刻方法相關的堿基侵蝕。LAM RESEARCH 490/480 蝕刻器/asher的組件包括ProFace TM顯示/操作面板和支持自動晶圓級控制的E/F-32PCI板。該系統還包括一個亞微米濾波器、動態泵控制、一個平版印刷模式的Robot Loadlock,以及一個連接到主蝕刻器/墊圈腔室的PECVD腔室。490/480 蝕刻器/asher設計滿足批量生產應用的嚴格要求,非常適合鈍化、介電等細膩應用。先進的特性和受控的工藝參數提供了可靠和可重復的結果,提高了準確性和效率。
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