二手 LAM RESEARCH 490 / 590 #293817052 待售
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LAM RESEARCH 490 蝕刻器/asher是一種緊湊、用途廣泛的等離子體蝕刻和灰化設備，設計用於研發或半導體生產。它具有多腔室設計，允許同時處理不同的材料，如半導體晶片、基板和有機物。490包括一系列使用高頻等離子體的高級蝕刻和灰化工藝，以及一種化學輔助技術來實現高蝕刻選擇性。該設備由PLC系統控制,占地面積小,非常適合中小型實驗室。490是一個雙室單元，上面有一個主反作用室和一個輔助室。主室用於涉及多達十二個2英寸晶圓的蝕刻和灰化過程。它還容納使用頂載石英船的基材和有機物等樣品。該機器還包括一個觀察端口和等離子體光譜端口，以監測蝕刻過程。LAM RESEARCH 490旨在提供高精度蝕刻和灰化功能,與其他清潔系統相比,對環境的影響最小。此外,還可以借助工具的廣泛支持軟件有效地進行過程優化。該工藝軟件允許設置工藝參數並控制蝕刻和灰化工藝。它的高級診斷功能還可以輕松識別資產的任何可能問題並快速解決這些問題。該車型還配備了先進的安全功能，如超壓報警設備、溫度控制器、主動氣化監測等。此外,490還配備了ICED,這是一個獨立的診斷系統,可幫助識別和診斷流程問題,從而實現快速解決並最大程度地減少停機時間。總體而言，LAM RESEARCH 490是研發、半導體生產和其他先進清潔應用的理想蝕刻器/asher。它提供了高效的蝕刻和灰化過程,以及廣泛的過程優化軟件。其先進的安全功能確保設備安全運行,對環境的影響最小。
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