二手 LAM RESEARCH 490 / 590 #9119465 待售

LAM RESEARCH 490/590是為半導體技術而設計的先進蝕刻器/asher設備。它為精密蝕刻、灰化和退火工藝提供了創新的解決方案。它旨在蝕刻和退火極其精確的溝槽、接觸孔、微孔和通孔。它還支持先進的溝槽、銅和介電蝕刻工藝。490/590型號使用GEMINI®工藝控制,這是專門為此高級蝕刻器/asher系統開發的一項尖端技術。GEMINI®是一個集成軟件包,可實現卓越的流程功能和可預測的結果。它有助於優化設備性能,確保每個蝕刻或退火作業均符合規格要求。LAM RESEARCH 490/590被設計為低成本、經濟實惠的半導體製造蝕刻器/asher。它可以安全地處理多達5英寸的晶片，並且通過其自動加載序列，可以最大限度地減少晶片的處理，並最大限度地提高工藝吞吐量。它采用先進的潔凈室技術制造，具有高效的氮氣和彗星氣體擴散系統，可防止汙染並提供清潔的工藝環境。490/590采用先進的蝕刻技術，具有廣泛的可選工藝設置，提供卓越的效果。氣流、壓力、偏壓和溫度均可調節和監測。這些設置可以優化每個蝕刻過程,為各種應用程序提供最佳效果。LAM RESEARCH 490/590為最終用戶提供了靈活性,並且能夠以不同的模式進行操作。「標準模式」最好在生產多個大小和形狀相似的蝕刻時，而「步進模式」則是更精確蝕刻作業的理想選擇。此外，490/590還支持先進的安全功能，如氣體關閉傳感器、電源管理系統和自動門鎖系統。此外，該機具有高效的排氣工具，可防止工藝顆粒進入受控環境。綜上所述，LAM RESEARCH 490/590是一項非常先進的蝕刻/asher資產。它使用GEMINI®工藝控制,一個復雜的軟件包,並支持高達5英寸的晶圓。它能夠對極其精確的溝槽、接觸孔、微孔和通孔進行蝕刻和退火，效果極佳。此外,它還提供多種流程設置,並支持高級安全功能。總而言之，490/590是半導體蝕刻和退火應用的絕佳選擇。