二手 LAM RESEARCH 490 / 590 #9145832 待售

LAM RESEARCH 490/590蝕刻器/灰燼是設計用於生產半導體器件的真空室。它們配備了高性能電子束槍，能夠在各種光刻材料中產生亞微米圖樣。這些系統能夠以每秒500毫米的速度將圖樣蝕刻到晶片中,並且可以產生特征大小在0.01到3.0微米之間的圖樣大小。490/590系列還提供先進的等離子體蝕刻功能,具有先進的平面化和陣列化過程。腔室是高度可配置的,有許多選項可根據特定設備要求優化蝕刻過程。可以調節等離子體源，以更好的邊緣定義和選擇性來控制離子通量和刻蝕形狀的離子能。腔室具有多種安全功能，可以保護用戶，避免晶片暴露在有害的環境中。LAM RESEARCH 490/590具有堅固的輪廓設備,可精確控制蝕刻特征的深度和輪廓,並在加工過程中減少晶圓損壞。可以對系統進行光學調節，在整個晶片上提供均勻的蝕刻。真空室可以配置為允許同時蝕刻多層，從而實現更快的吞吐量時間。490/590被設計為與各種濕處理系統兼容，可以在制造序列中與其他系統同步。該裝置配備了先進的自動化機器，以便於融入生產線。這些系統的設計符合最嚴格的清潔標準，確保晶片在整個制造過程中保持無缺陷。LAM RESEARCH 490/590系列也與廣泛的前體和其他材料兼容後蝕刻工藝。490/590是適用於廣泛行業的精密蝕刻應用的理想解決方案,包括半導體、醫療設備和MEMS設備制造。蝕刻器/asher是為提高速度和準確性而設計的,其堅固的設計可確保在未來幾年提供一致的結果。