二手 LAM RESEARCH 490 #199861 待售

LAM RESEARCH 490是一種用於半導體器件制造的蝕刻器/asher。該設備采用低能電感耦合等離子體（ICP）源和專用氣體輸送系統,可實現小至0.25微米的工藝幾何形狀。490為高精度蝕刻設計，工藝吞吐量高，產量大。LAM RESEARCH 490單元的蝕刻過程由一個平行板或旋轉源ICP執行，這允許對過程變量的精確控制。電源功率可調節,以適應不同的材料。490上的氣體輸送機由多達五條氣體管線組成，允許控制等離子體過程中使用的氣體的混合。密切監測氣體混合物，以確保最佳蝕刻工藝。LAM RESEARCH 490上的可旋轉源構型還有一個旋轉式快門，用於減少蝕刻細膩結構時離子轟擊的量，如應變矽。此外，490工具可以使用各種化學混合物，在蝕刻過程中提供靈活性。這有助於優化使用壽命和成本控制,同時仍可提供可靠的性能。LAM RESEARCH 490資產還具有高級軟件，允許用戶配置流程配方以滿足設備的特定需求。此外,490型號還具有出色的可重復性,存儲容量可達1,000種配方。其精密夾緊設備確保晶片在加工過程中不翹曲，其可編程氣體分配箱（PDB）提高了蝕刻工藝的均勻性。另外,LAM RESEARCH 490的自動化端點檢測系統消除了猜測,每次都提供準確的結果。490 蝕刻器/asher是為制造尖端技術而設計的用於半導體器件的快速、一致、精確蝕刻和粉刷的先進設備。其高容量、精確度和可重復性使其與其他系統脫穎而出，為芯片制造創造了可靠的解決方案。