二手 LAM RESEARCH 490 #293604249 待售

LAM RESEARCH 490是一種等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）裝備的Asher/Etcher,專為提高吞吐量、靈活性和可靠性而設計。這款堅固的加工工具具有267毫米x 267毫米晶圓尺寸、1.6毫巴底壓和7kW負載鎖/高容量負載鎖/加工室。高速熱處理配置為在30°C至250°C之間運行,具有多達13組可編程的配方和工藝參數,具有4個沈積頭和5個蝕刻室。490采用先進技術構建,以確保一致、可重復的處理結果。它的自動斜率特性最大程度地減少了晶片在熱循環過程中在腔室中的錯位，重新設計的晶片處理系統使得晶片檢索對於操作員來說更加容易。該蝕刻機還提供用於濺射/蝕刻沈積和蝕刻應用的多頻射頻基板電源，以及先進的諧波阻抗源匹配技術，以實現更大的處理控制。LAM RESEARCH 490還具有靈活的設計功能,使客戶能夠根據特定的基材類型、應用、質量規格和沈積要求定制其工藝配方。集成的加熱器和集成的冷卻端口分別提供均勻的加熱和冷卻，以提高工藝均勻性。490還提供高級炮塔管理以簡化操作,例如多炮塔和Macrobatch功能以及高級系統監控和診斷功能。此外,配備PECVD的asher/etcher利用高級基於Web的GUI來減少用戶交互、設置和配置時間。它具有直觀的顯示功能,可簡化編程並降低手動操作的復雜性。該設計還有助於提高系統穩定性和最大程度地減少停機時間。總體而言,LAM RESEARCH 490是一款高效而堅固的PECVD設備,其asher/etcher工具經過精心設計,可實現卓越的處理,並具有可預測和可重復的結果。其先進的技術功能使客戶能夠達到最高水平的吞吐量、靈活性和可靠性。