二手 LAM RESEARCH 490 #293605750 待售

LAM RESEARCH 490是一種堅固的asher/etcher設備,具有多種功能,旨在以高精度和重復性簡化蝕刻晶片的過程。該系統配有一個可旋轉和倒置的基座表，能夠方便地訪問晶圓的兩側，以獲得最佳的蝕刻精度。此外，該單元還能夠根據晶圓高度差異進行調整，從而確保在晶圓的整個表面上具有一致的蝕刻模式。490包括確保最佳蝕刻溫度的精密溫度控制算法和改進反應氣氛控制的自動氮處理機。這兩個元素的組合可以提高質量和產量,以及延長刀具的使用壽命和穩定性。LAM RESEARCH 490還包含許多用戶友好功能,包括圖形用戶界面 （GUI）用於有效的晶片跟蹤和程序參數設置,用於處理過程中晶片與壓板接觸的對準工具,允許自動轉移和加載晶片進出蝕刻室的機器人晶片傳輸資產,以及專用的條形碼讀取器,以提供更多的便利。490還配備了強大的真空模型,能夠在不到90秒的時間內將加工室排空至24 mbar,幫助確保快速、準確地實現所需的工藝環境。此外,LAM RESEARCH 490還包含一系列版本控制的軟件包,有助於簡化許多蝕刻過程步驟以提高效率。綜上所述,490是一種堅固的灰化器/蝕刻器設備,具有多種特點,可幫助提高產量、提高工藝重復性和準確性,並最大限度地減少晶圓轉移和蝕刻室疏散等耗時任務。該系統是許多蝕刻應用的可靠且經濟高效的替代方案。