二手 LAM RESEARCH 490 #293616826 待售

LAM RESEARCH 490是用於制造半導體器件的先進蝕刻器/asher。蝕刻器/asher是為高長寬比蝕刻而設計的，由多區域處理室組成，該室是群集工具體系結構的一部分。多區加工室具有石英壁，便於整個基板上的區域均勻性。490的第一個區域是晶圓轉換區，它使用機器人將晶圓從載荷站轉換成腔室。然後將晶片攪拌成溫和但一致的聚合物珠和蝕刻劑混合物，以提供均勻的蝕刻速率。蝕刻器/asher的第二個區域是利用感應耦合等離子體（ICP）來增加蝕刻速率和過程均勻性的等離子體區域。ICP配備了先進的電弧控制設備，以確保對等離子體的精確控制。腔室的第三個區域容納一個化學氣相沈積（CVD）系統，用於進行選擇性二氧化矽蝕刻。第四個區域是在蝕刻過程完成後冷卻墻壁和基板的冷卻和排氣區域。腔室的第五區是排氣區，排出蝕刻蒸氣和蝕刻過程中產生的任何其他氣體。LAM RESEARCH 490 蝕刻器/asher能夠產生高長寬比開口，在基板上均勻蝕刻。其先進的電弧檢測單元確保了對等離子體的精確控制，而CVD機提供了更高的蝕刻選擇性和改進的工藝均勻性。此外，冷卻和排氣區有助於減少基板失真，並有助於保持在多個基板上一致的蝕刻速率。