二手 LAM RESEARCH 490 #293657950 待售
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LAM RESEARCH 490是一種蝕刻器/asher,旨在促進高效、經濟高效的半導體器件制造。490專為生產和研究應用而設計，提供高吞吐量和可重復的過程控制，可以量身定制以滿足特定需求。工藝室為圓柱形，分兩級，由下部加熱機理和上部反應室組成。自動晶圓傳輸設備便於晶圓在兩個腔室之間傳輸。下室有一個石英敏感器耦合到一個氣體處理系統，允許控制輸送過程氣體。氣體通過多氣體歧管輸送，可用於制造等離子體。上層反應室包含一個用於灰化操作的冷卻截面。LAM LAM RESEARCH 490專為單晶片操作而設計,可配置各種特定於工藝的組件,包括晶片處理程序、氣源、基礎壓力表、光發射光譜、腔室壓力表、沈積頭或淋浴、工藝墊圈和車載診斷。它還可以配備排氣洗滌器，加上壓力控制回路，以及額外的安全特性。LAM 490的設計旨在提供對矽半導體基板的精確蝕刻和灰化,具有高質量的特性和對工藝參數的嚴格控制。它允許可重復的質量保證和優化,可以針對特定的客戶需求進行定制。還可通過控制單元獲得自我監測能力，用於監測蝕刻材料或灰泥材料的質量。LAM LAM RESEARCH 490也可用於低堿性灰化，這是一種創新的蝕刻工藝，利用熱和等離子體的綜合效應，產生最小殘留汙染的高性能蝕刻結果。也可用於低堿性金屬蝕刻，金屬嵌入等離子體，減少汙染，達到可重復蝕刻的效果。LAM 490 蝕刻器/asher是一種堅固的機器，用於蝕刻和粉刷各種半導體器件。該工具的功能,加上其多用途的功能,使其成為從工藝開發到設備制造的各種應用程序的絕佳選擇。
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