二手 LAM RESEARCH 490 #293747959 待售

LAM RESEARCH 490是一款熱蝕刻設備，旨在提供業界最優質的蝕刻圖案和最佳的蝕刻工藝控制。490采用反應性離子蝕刻（RIE）技術，將底物表面與經過準直、嚴格控制的反應性氣體等離子體結合起來，從塗層中去除目標材料。LAM RESEARCH 490集成了眾多關鍵技術以及許多用戶友好的軟件功能,以提供精確、可重復的性能和無與倫比的速度的高度可靠的系統。490具有LAM獲得專利的PitchScanTM自動清洗功能,無需手動清洗顆粒。PitchScan可以檢測和清除小至4 µm的顆粒，大大減少基板表面的汙染。該單元還使用最新的稱為圖像增強的技術來提高蝕刻圖案的清晰度、分辨率和特征定義。此外,LAM RESEARCH 490先進、功能齊全的光學組件具有改變脈沖、能量和光束寬度的能力。490接受直徑最大為8英寸的基板,同時保持相同的取樣聚焦精度。LAM RESEARCH 490憑借其先進的溫度控制機,提供了出色的刀具-刀具均勻性和蝕刻圖樣的可重復性。為確保高吞吐量,490配備了多種配方設置,能夠執行各種蝕刻過程。LAM RESEARCH 490還配備了扭轉器和快門工具，以盡量減少細胞間的變化。為了進一步改善對蝕刻工藝的控制，490具有先進的氣體自調諧功能。此自調整功能能夠自動檢測每個配方的最佳設置,以確保最高質量的蝕刻模式。而且，LAM RESEARCH 490直觀的用戶界面為用戶提供了蝕刻過程結果的實時反饋。總體而言,490結合了許多關鍵技術和軟件功能,提供了符合蝕刻性能和過程控制最高標準的先進工具。