二手 LAM RESEARCH 490 #293771117 待售

LAM RESEARCH 490，又稱蝕刻asher，是為等離子體蝕刻和鈍化半導體材料而設計的設備。它可用於在各種基板中產生定制的復雜特征,同時實現非常高的準確性、可重復性和過程控制。490利用等離子體技術在基板上蝕刻和沈積材料薄層，形成一個鮮明的蝕刻圖樣。該系統可用於各種材料，如矽、砷化氙和氧化鋁。該單元包括電子回旋共振（ECR）等離子體源、射頻（RF）電源以及控制反應室溫度的冷卻器。ECR等離子體源允許高度均勻的等離子體，確保底物所有區域的蝕刻深度均勻，而RF電源提供啟動過程和調節等離子體參數所需的動力，以確保正確的蝕刻速率。溫度控制進一步有助於確保結果一致。LAM RESEARCH 490提供了幾項功能,使其能夠準確、高精度地執行各種蝕刻任務。例如,機器配備了自動調諧功能,可方便地優化和控制加工基板類型的工藝參數。此外，該工具還包括一個傳感器資產，用於監測和調節壓力、溫度和電場等關鍵變量。此反饋循環有助於確保流程以最佳效率運行。該型號還包括種類繁多的可互換組件和附件，允許與各種材料和應用一起使用。其中包括晶圓提升設備、端部效應器、熱卡盤和用戶可編程蝕刻速率。此外，490還可以配備自動放大器，使其能夠連續處理多個晶片。綜上所述，LAM RESEARCH 490是一種蝕刻系統，旨在為各種基板提供定制的、復雜的特征。它配備了ECR等離子體源、RF電源、自動調諧功能、傳感器單元、晶圓升降機、端效應器、熱卡盤和用戶可編程蝕刻速率，以確保精度、重復性和過程控制。此外,自動放大器允許工具連續處理多個晶片。