二手 LAM RESEARCH 490 #293778205 待售

LAM RESEARCH 490，又稱Echer/Asher，是一種用於半導體工業的先進蝕刻和灰化設備。490 Etcher/Asher為半導體器件的關鍵蝕刻和灰化過程提供了卓越的速度、精度和可靠性。這一行業領先的系統能夠處理直徑達200毫米的晶片，能夠滿足晶片制備、光敏剝離和清洗、硬掩模蝕刻和剝離以及摻雜再分配等苛刻的性能要求。LAM RESEARCH 490 Etcher/Asher使用先進技術提供關鍵的單元控制和工藝監控，使基板溫度、壓力和工藝氣體的添加得到精確調整。其標準晶片熱管理機具有分段加熱器控制和獨立基板傳感器波段，確保了可復制的工藝效果。高精度工具提供穩態過程溫度控制到每面0.2°C以內，而六個戰略定位的冷水歧管提供均勻冷卻。490 Etcher/Asher具有高度可配置性,可以根據特定流程的需要進行定制。其靈活性和先進的工藝控制資產確保了卓越的蝕刻輪廓一致性和高工藝生產率。其等離子體源可配置用於各種蝕刻工藝化學，包括氯基、溴基和氟基化學，其高功率射頻發生器提供工藝重復性，並具有出色的阻抗匹配。LAM RESEARCH 490還提供先進的保形冷卻，其中液體冷卻劑通過陽極循環，使等離子體源的溫度在過程中保持一致。490提供了復雜的監控功能,使其用戶能夠調整各種工藝組件,以確保晶圓性能最佳。這包括為每種晶片類型編程獨立參數的靈活性、對各種溫度、壓力和氣流進行編程的能力,以及在運行開始之前激活的「自動清潔」功能,從而最大程度地減少了流程界面。此外,該型號的遠程診斷功能使用戶能夠遠程排除問題,從而提供實時反饋,同時減少停機時間。總體而言,LAM RESEARCH 490 Etcher/Asher提供各種材料精密蝕刻和灰化所需的速度、精度和可靠性。其先進的工藝控制設備和靈活的可配置性使其成為生產微電子元件的理想選擇。