二手 LAM RESEARCH 490 #9031604 待售
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LAM RESEARCH 490是一款先進的等離子體蝕刻器和化學粉碎機。它是LAM的E系列等離子體和Ashers的一部分,這些等離子體和Ashers被設計用來在各種基板上產生高精度蝕刻圖樣,包括介電、聚酰亞胺和SiO2材料。LAM 490的標稱功率為300W,將延長蝕刻時間的能力與低汙染水平和改進的均勻性結合在一起。LAM RESEARCH 490配有多種氣線和壓力能力,可以進行調整,以適應廣泛的過程壓力和濃度。這一靈活性範圍允許具有多種單元格類型的應用程序,包括但不限於雙級蝕刻、階梯式蝕刻和高級應用程序的修改,例如垂直配置文件。490還具有出色的放氣性能,使其能夠在難以蝕刻的情況下保持精確度,例如由碳、氟和氧材料形成的等離子體。此外,利用LAM RESEARCH 490可以實現的蝕刻選擇性也是極好的,而且經常被應用在晶圓表面制備、化學機械平面化(CMP)和層間介電蝕刻等領域。490的另一個優點是它具有廣泛的腔室配置和選項,如兩級或兩級離子源、旋轉和線性天線陣列、可變壓力能力和集成清潔功能。這使得它可以根據客戶的特定需求進行定制。此外,它還具有高功率、可重復的蝕刻計時器,使操作員能夠以最小的方差準確控制過程時間。此外,LAM RESEARCH 490具有DC-RF電源,功率水平可調,頻率可調,允許更精確的蝕刻。總體而言,490是一個理想的先進的等離子體蝕刻和化學粉碎機為眾多的行業和應用。其最先進的設計允許通過各種工藝蝕刻要求提高效率、準確性和質量控制。它的多功能性和精確度使其成為高端復雜項目的絕佳選擇。
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