二手 LAM RESEARCH 490 #9089389 待售

LAM RESEARCH 490是一種濕蝕刻和灰化設備，設計用於工業制造過程。它能夠處理各種蝕刻和灰化應用，並且與各種材料兼容。490利用溶劑和催化劑的組合，可以對矽、玻璃、金屬、塑料、陶瓷等材料進行高精度蝕刻或灰化。它提供了包括深層反應性離子蝕刻（DRIE）在內的高級蝕刻和灰化工藝，該工藝利用一個或多個反應性氣體等離子體來創建具有高長寬比和各向異性蝕刻圖樣的蝕刻輪廓。LAM RESEARCH 490的最高工作溫度為800°F（427°C），最大壓力為40 PSI，適合廣泛的硬質材料。它包括一個自給自足的基板加熱器，一次提供最多六個基板的批量加工，並具有快速響應，低背景環境。內置的氯化銅浴池保持正確的蝕刻化學，減少汙染周圍環境的機會。490的蝕刻室由不銹鋼構成，具有一個大的檢視口，可以裝卸基板以及監測蝕刻和灰化過程中的操作。此視口還允許操作員以出色的清晰度確定蝕刻或灰度的完成程度。此外，該系統還包括一個多步處理控制器和一個通用的端點監控單元，以確保優化蝕刻和灰化結果。LAM RESEARCH 490的計算機控制機器允許精確控制針對特定材料和應用而定制的蝕刻和灰化循環。該工具的用戶界面易於使用，並為資產的高效運行提供了多種高級功能。此外，該模型包括一個大型的操作參數和配方庫，使實驗易於設置和執行。490具有高的工藝產量、精確度和可重復性，是工業領域蝕刻和灰化應用的理想設備。