二手 LAM RESEARCH 490 #9112923 待售

LAM RESEARCH 490是一種用於加工薄膜導電材料的蝕刻器/asher。它是一種化學氣相沈積工具，利用多種化合物蒸發，形成所需材料的薄膜。490能夠生產厚度低至納米水平、成分均勻的薄膜。該工具具有較高的吞吐量和易操作性，確保了薄膜的快速、準確制造。LAM RESEARCH 490設計了一個標準的真空室，最多可容納四個直徑在2到8英寸之間的晶片。該工具還可以處理多達四種不同尺寸的基板。真空室由空氣循環設備冷卻，由兩個獨立的腔室加熱器加熱。這樣可以確保整個晶片在整個過程中的溫度均勻一致。490能夠在蝕刻或灰化過程中產生高達10 Torr的高壓,並且可以編程以實現精確的可重現結果。LAM RESEARCH 490裝有石英蒸發源，能達到高達2800 °C的溫度。這樣就可以沈積各種各樣的材料，包括負的和正的光致抗蝕劑以及金、銅、鋁等金屬。該源也可用於晶片加工前的預處理，以確保薄膜的附著力增加。490還配備了頻率掃描系統,用於確保較大基板區域的灰度/蝕刻均勻性。使用此單元,用戶可以選擇應用該過程的頻率,從而能夠快速準確地生產所需的材料。LAM RESEARCH 490還配備了一臺遠程監控機器，可以提供工具及其流程的實時數據。這樣可以立即進行調整,以提高工具性能並確保生產出最優質的產品。此外,該工具還設計有一個多晶片監控工具,用於跟蹤每個晶片在蝕刻/灰化過程中的化學性質和溫度。490是一種堅固可靠的資產,非常適合薄膜導電材料的制造和審查。該模型以具有成本效益的方式提供了均勻性和準確性的最佳組合。