二手 LAM RESEARCH 490 #9145865 待售

LAM RESEARCH 490是一種先進的幹蝕刻器/灰化器,用於半導體制造,可在各種設備體系結構上產生高度精確和復雜的特性。這種設備能夠蝕刻成金屬、矽、聚酰亞胺等具有多種化學性質的材料。它結合了獨特的固態等離子體源，提供卓越的蝕刻控制和高工藝重復性。該系統旨在實現直徑200毫米以下晶片生產加工的最佳性能。它是緊湊的，有一個長期的跟蹤記錄，經歷最小的維護，並且需要最少的操作員註意。該裝置用於通過先進的幹蝕刻加工生產具有高精度和重復性的設備。490特性Descum，獨特的等離子體源技術。Descum技術通過提高選擇性和通過消除微汙染提高蝕刻質量，降低了半導體晶片受到汙染的風險。這項技術非常適合在潔凈室環境中進行蝕刻，因為它消除了揮發性有機化合物，從而形成了清潔、環保的蝕刻工藝。該機器提供客戶定義的配方編程和控制,包括預設的用戶定義步驟,以確保快速、可靠和可重復的過程。高級流程控制功能使用戶能夠與工廠中的眾多設備進行交互。此工具還提供了復雜的自適應接觸測量（ACM）功能,為整個過程控制解決方案提供了溫度、壓力和樣品可變性的自動補償。LAM RESEARCH 490是一種高度可靠、準確的資產。它被設計為與各種材料和化學材料兼容，提供了一種低成本的濕蝕刻替代品。總體而言，這種模型是半導體制造和設備級應用的絕佳選擇，可以在所有類型的材料上產生復雜的設計。