二手 LAM RESEARCH 490 #9196387 待售

LAM RESEARCH 490是一款具有等離子體和光阻技術的最先進的蝕刻器/asher。它設計為蝕刻材料，如金屬、塑料、陶瓷和薄膜，具有非常精確的公差控制。這使得它非常適合為高可靠性電子和光電元件創建復雜的模式和特征。490配備了自動晶圓處理機制，便於蝕刻過程中裝卸。此機制可確保蝕刻過程的均勻性,從而實現可重復的結果。它還具有晶圓對準過程，以最大程度地減少蝕刻過程中的誤差並最小化地下損傷。LAM RESEARCH 490提供射頻和直流蝕刻。射頻蝕刻允許蝕刻而不產生通常由較高溫帶工藝產生的多余離子，從而防止材料汙染並提高蝕刻結果的質量。另一方面，直流蝕刻采用低電流蝕刻工藝，增加蝕刻速率，減少蝕刻時間。490的asher部分可以容納短和長的典型蝕刻/劃線運行。也可用於在蝕刻前在晶片上塗抹光刻抗蝕劑。LAM RESEARCH 490的獨特之處在於它能夠在廣泛的晶圓直徑範圍內以極高的重復性和均勻性進行蝕刻和灰化。490的控制系統是一個包含內部傳感器的閉環系統,可以為不同的材料和工藝類型提供最佳的蝕刻參數。這些傳感功能還監視可能導致過程不穩定的任何突然變化。總體而言，LAM RESEARCH 490是一種可靠和高度精確的蝕刻器/灰化器，可用於各種光刻和蝕刻工藝。它的特性和功能幫助它在快速周轉的時間內實現最佳的蝕刻性能和質量。