二手 LAM RESEARCH 490 #9226106 待售

LAM RESEARCH 490 asher/etcher是一種高級、高性能的高級蝕刻/蝕刻設備,旨在在廣泛的蝕刻過程中提供幹凈、可重復的結果。490可用於蝕刻晶圓、金屬、聚合物、玻璃等多種基材。它具有100-420°C的標準工作溫度範圍，4個可編程的可重復過程，以及內置的溫度控制器。LAM RESEARCH 490可用於不同工藝的不同材料蝕刻，非常適合廣泛的蝕刻工藝。該系統采用快速熱退火（RTA）工藝--一種快速加熱和冷卻基板的方法，快速均勻地蝕刻指定深度。它與各種氣體兼容，包括鹵素和氟碳混合物--允許精確和可重復的過程。490具有氣箱模塊和真空泵單元,可協同工作以提供精確的蝕刻結果。燃氣箱模塊容納了制造受控大氣所需的所有組件，如噴嘴、流量計和壓力控制器，而真空泵模塊則保持恒定穩定的蝕刻環境。LAM RESEARCH 490還配備了先進的控制技術，如顯示屏、鍵盤和控制模塊--為操作員提供對蝕刻過程的完全控制。490是完全自動化的，可以編程為同時蝕刻多個基板，典型的周期時間不到五分鐘。機器的長壽命電容器和高效的熱設計確保了均勻和可重復的結果。它還具有獨特的冷卻工具,有助於最大程度地減少停機時間和資金成本。綜上所述,LAM RESEARCH 490是一種高性能蝕刻/灰化資產,可為各種蝕刻過程提供幹凈、可重復的結果。它配備了先進的溫度控制器、氣箱和真空泵模塊，以及一個精密的控制模型，可以讓用戶精確地控制整個過程。它是一種高效、可靠和經濟高效的設備，可用於蝕刻各種基材，典型的循環時間不超過五分鐘。