二手 LAM RESEARCH 490 #9226284 待售

LAM RESEARCH 490是一款濕蝕刻器/asher，設計用於在半導體生產過程中提供高精度的圖樣傳遞和蝕刻能力。它提供了快速的周期時間和可重復的過程結果,使芯片設計人員能夠生產出具有高可靠性的小型復雜集成電路。490有一個大的液體抵抗和蝕刻室，可以容納4英寸晶圓或在其迷你室中最多8英寸晶圓。它具有一個自動實時液位監測場（Auto-LVM）,以及一個可確保每層精確蝕刻的耐用材料管理設備（RAM）。它的頂級負載鎖包括多達十個工藝配方和一個清潔的空氣幕芯片生產環境。此外,它還提供了嚴格的過程控制,以實現最佳的圖樣傳遞,精確的均勻蝕刻和減少缺陷.該系統配有晶片處理機器人、精密回火的基於文丘裏的蝕刻源和層流氣體分配單元，以確保一致的聚焦和蝕刻速率均勻性。它還包括用於快速轉移的自動水沖洗和清潔負載鎖，以及用於更快平衡時間的加熱負載鎖，以提高吞吐量。LAM RESEARCH 490具有先進的軟件控制和用戶友好的圖形操作員界面以及定制設計的警報指示。它為用戶提供具有離線優化功能和現場OEE監視器的自動化刀具鑒定機,以監控周期時間和缺陷率。此外,廣泛的流程數據庫支持快速、可重復的操作。490是為高精度、可重復的結果而設計的多合一蝕刻/蝕刻asher工具。適用於小型和大型半導體制造工藝，為各種工藝需求提供了經濟高效的解決方案。