二手 LAM RESEARCH 490 #9226287 待售

LAM RESEARCH 490（又稱蝕刻器/asher）是一種高度精密和精確的設備，用於在半導體過程中蝕刻或「擺脫」材料。用於半導體制造機器的蝕刻室。這一設備配備了濕蝕鹵代碳酸鹽蝕刻化學，其作用是在非常高的溫度下從半導體表面蝕刻和去除材料的活性層。490的設計是為了在構成大多數半導體芯片的半導體晶片中刻蝕專門設計的特征。它依靠其多種特性，以精確必要的寬度、深度和角度蝕刻這些特性。該系統配備了最小操作模式（LAM）技術，這是一個功能強大且精確的計算機控制單元，可以對蝕刻過程進行最佳控制。該機還設有旋轉陰極屏蔽和自動腔室清洗、專用氣流控制器和渦輪泵系統以及溫度控制環境。這種特性的組合使得半導體結構的精確蝕刻和不同批次的一般均勻性得以實現。為確保蝕刻工藝的精確度和精確度，LAM RESEARCH 490配備了精確的橫向控制工具，允許以納米級精度在晶圓的最多九（9）個不同位置進行蝕刻。它具有很高的蝕刻速率，精確的過程控制，能夠處理大量的晶片，每分鐘多達25個晶片。該資產還具有現場監視器,允許用戶獲取實時流程數據。該模型易於使用和操作,用戶可以使用易於理解的操作手冊。490為半導體行業的器件生產提供了可靠、精確的蝕刻機。