二手 LAM RESEARCH 490 #9226288 待售

LAM RESEARCH 490是半導體工業中使用的最先進的蝕刻器/asher。它提供了作為集成電路制造的一部分的蝕刻和粉碎層的技術。本機設計為兼具濕法和幹法過程化學，可處理不同類型的基材。它是一種用於關鍵半導體器件的全自動、快速和高度精確的蝕刻/粉碎機。490一次最多可操作五個工藝室。所有工藝室都有一個綜合的全氟辛烷磺酸減排系統，有助於減少有害物質的排放。它還包括一個自動對準系統，以實現魯棒晶片到晶片的一致性。每個腔室具有突出的蝕刻均勻性和蝕刻速率均勻性。它包括一個經過驗證的電感耦合等離子體（ICP）源，用於在廣泛的條件下進行穩定、高均勻性的蝕刻和灰化。LAM RESEARCH 490有靈活的配方選項。它可以達到700 °C的最高溫度和多個氣流，可以單獨調整以匹配工藝配方。蝕刻速率由質量流控制器（MFC）調整，以微調基板表面粗糙度。對於灰化,可以使用基於紫外等離子體的灰化技術來創建所需的表面光潔度。490提供自動模式識別和缺陷檢測等高級診斷。它還提供預蝕刻或原蝕刻表面粗糙度控制和多層蝕刻應用。蝕刻過程還包括均勻性的沈積控制，這有助於降低基材損失率。LAM RESEARCH 490還提供單一叠代過程,以提高工藝效率和產量。總體而言，490是一種用途極為廣泛且可靠的蝕刻器/asher，它為先進的半導體器件制造提供了一致的結果。它具有先進的功能和強大的功能,是滿足最復雜應用程序需求的完美蝕刻器/蝕刻器。