二手 LAM RESEARCH 490 #9232674 待售

LAM RESEARCH 490是一種用於加工半導體晶圓的Etcher/Asher設備。這臺機器能夠在直徑達304.8毫米（12英寸）的晶片上有效蝕刻和粉刷各種材料。它使用了1350毫米（53.15英寸）的通氣室，設計用於雙面晶圓加工；晶片可以裝載標準的集群工具，從而允許單個設備同時處理晶片的兩側。該系統是高度模塊化的,在組件級別提供了靈活性,允許定制以滿足特定需求。490具有高性能等離子體的大腔室體積,可處理各種操作參數上的蝕刻和灰化應用。LAM RESEARCH 490采用堅固、一件式的不銹鋼鈍化室，旨在最大限度地減少等離子體引起的粒子產生，並確保溫度均勻性。該裝置在清潔的環境中操作，能夠直接進行側臂裝載，以實現高純度和最小汙染。為了確保一致的重復結果，蝕刻和灰化過程由先進的等離子體控制器控制。基於操作系統的直觀控制器提供了過程條件的圖形表示,以確保一致的可重復性。該機還具有快速、均勻的射頻配電，確保最佳蝕刻和灰化性能。490能夠蝕刻和粉刷任何類型的材料。它以一系列不同的氣體設計，如氯氣、氙氣、氫氣等，以適應各種材料要求。它還具有對復雜結構進行精確蝕刻的多步驟蝕刻過程的能力。這個工具的烘烤能力也令人印象深刻，因為它可以在持續的溫度控制下烘烤到450°C （842°F）。要完成該過程,動態端點檢測資產有助於驗證過程結果,從而確保獲得了正確的端點。總體而言，LAM RESEARCH 490是一個有效的蝕刻器/asher模型，適合廣泛的應用。490利用其先進的腔室和計算機控制的工具，可以提供一致的、可重復的結果，汙染最小。高性能的射頻配電、溫度均勻性和多重氣體功能提供了一種靈活性,可根據任何特定需求定制蝕刻/灰化工藝。