二手 LAM RESEARCH 490 #9242239 待售

LAM RESEARCH 490是一款為制造半導體器件而設計的蝕刻器/asher。該工具是專門為加強半導體器件加工過程而開發的，使基板的蝕刻和灰化更加高效和準確。490利用不同的壓力和溫度條件,允許使用特定的蝕刻/灰分工藝。該工具在同一基材上配有多種配方，以提高產量。該過程允許在定義的過程區域中進行有針對性的蝕刻和灰化,從而允許更統一的最終產品。低壓等離子體粉碎機用於有機材料的粉碎，也用於等離子體脫粒。低壓等離子體允許快速蝕刻過程，而不會損壞基板，留下一個非常幹凈的表面，具有良好的均勻性。高壓等離子體蝕刻器旨在高效蝕刻金屬、氧化物和聚合物。該系統使用氧氣、Cl2和SF6氣體來去除達到所需厚度的物質。LAM RESEARCH 490的自動控制系統允許穩定蝕刻,確保最終產品的一致性。490旨在為半導體行業帶來增強的工藝能力。它具有多種工藝能力，能夠靈活、準確地加工基板，高壓蝕刻確保了精密蝕刻和提高產量。LAM RESEARCH 490設計了一個自動化控制系統，以確保該過程可重現，高壓風冷機構保持等離子體清潔，從而使半導體器件基板的蝕刻和灰化更加精確。