二手 LAM RESEARCH 490 #9244750 待售

ID: 9244750
Etcher Gases: Nitrogen, Oxygen, Sulfur Hexafluoride, Helium, Chlorine.
LAM RESEARCH 490是一款最先進的蝕刻/asher設備。它是一種多功能、高性能的工具,可以滿足要求最苛刻的流程需求。該系統采用先進的技術設計,提供高效、最佳的生產率水平和高吞吐量。該裝置采用離子輔助蝕刻、等離子體蝕刻、粒子束蝕刻等多種先進蝕刻工藝。蝕刻過程使機器能夠快速、精確地操縱材料表面,從而允許將復雜的圖樣和設計蝕刻到基板中。該工具還能夠產生高質量的階梯覆蓋,使其成為在研發中推進設備工藝的理想之選。該資產具有可自定義的腔室大小,允許用戶選擇適合其流程要求的蝕刻區域和深度。它還具有高級工藝監控功能,如E-Gas系列,允許用戶監控蝕刻過程和蝕刻速率。這樣可以確保完全按照預期執行該過程,從而提高更高級設備的產量。該模型還附帶了多種流程配方,使用戶能夠快速、輕松地設置流程。除食譜外,還包括對不同蝕刻工藝的食譜支持。這使得該設備具有高度的可配置性,並且與其他生產工藝,如電沈積和晶片鍵合相互兼容。除工藝能力外,系統還具有自動洗室和自動化維護功能,確保最大限度的單元正常運行時間和可靠性。490具有可靠的性能和堅固耐用的良好記錄,是任何蝕刻和蝕刻工藝的絕佳選擇。
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