二手 LAM RESEARCH 490 #9244799 待售

LAM RESEARCH 490是一款蝕刻器/asher,提供高級功能,可實現高速性能和更好的工藝控制。利用線性垂直蝕刻/灰化技術，該蝕刻器/灰化器提供了半導體加工性能和工藝控制的極致。490由兩個截然不同的會議廳組成。蝕刻室提供基於真空的工藝環境，而灰化室提供基於大氣的工藝環境。蝕刻器/asher還配備了四幅線性舞臺，提供了比傳統兩幅車型更大的采樣面積。LAM RESEARCH 490的蝕刻室配備了射頻和微波源，允許廣泛的蝕刻和退火技術，如幹蝕刻、濕蝕刻、後蝕刻處理。移動基板和固定基板可裝入蝕刻室，提供廣泛的基板和特征尺寸。蝕刻室還能進行無薄膜操作，包括一個石英淋浴頭，用於均勻的樣品蝕刻。490的ashing chamber利用石英箱式等離子體槍進行更大批量的生產。該腔室還配備了負載鎖定和轉移系統，以高效裝卸基板。兩個腔室還提供流量、壓力和溫度的閉環控制，以及端點檢測功能。LAM RESEARCH 490還提供了額外的高級功能，例如一系列的精密清洗工藝、氧化物提升功能以及工藝卡帶系統。這種蝕刻器/灰化器是為最佳利用加工氣體而設計的，具有通壁氣體分布和最大限度地提高氣體輸送效率的雙壁氣體管線。此外，這款蝕刻/asher還配備了先進的自動化，提供了各種各樣的工藝配方，以適應不同的應用要求。490是一款功能強大且可靠的蝕刻器/asher,可提供高性能、過程控制和準確性。LAM RESEARCH 490憑借其廣泛的蝕刻和灰化技術、等離子槍以及前瞻性自動化，是滿足各種半導體加工需求的理想解決方案。