二手 LAM RESEARCH 490 #9251245 待售

LAM RESEARCH 490是一款高性能蝕刻器和asher，用於廣泛材料的蝕刻和清洗，包括金屬、聚合物、矽和其他半導體材料。它是一個多室結構，有載荷口和基底盒，單載荷鎖，預清室，蝕刻室，後清室和清潔室。該機設計用於單個加工室內的半導體晶片的蝕刻和清洗，允許同時或順序處理多個基板。490利用了根據應用程序要求構建的高度可配置的流程配方。它可以用RF、DC和AC功率的可變源編程，以及壓力、溫度、流量、等離子體停留時間等其他參數。設備配備了可用於監控過程的高分辨率直視攝像頭。機器還配備了記錄所有過程參數和條件的數據記錄系統。LAM RESEARCH 490可用於高分辨率蝕刻、反應性離子蝕刻、深反應性離子蝕刻、氧化物蝕刻和不同材料高選擇性氧化物蝕刻，以及化學蒸氣沈積薄膜等先進材料的蝕刻。此外，該裝置還可用於用化學蝕刻劑或氣體進行基板清潔，如濕蝕刻、電鍍或基板清潔。490機專為標準生產環境而設計，提供嚴格的平臺級對過程的控制和高吞吐量。該工具易於操作，具有用戶友好的界面，非常適合晶圓處理應用。模塊化設計還提供了靈活性和可擴展性,允許與其他制造設備和工藝高效集成。LAM RESEARCH 490可靠耐用，適合生產環境長期使用。