二手 LAM RESEARCH 490 #9262860 待售

LAM RESEARCH 490是一種為滿足最苛刻的應用程序的需求而設計的蝕刻/asher設備。490系統具有最先進的功能和性能,是用於半導體應用的高度復雜的蝕刻和灰化工具。LAM RESEARCH 490具有大量的功能,所有這些功能都是為提供卓越的蝕刻和灰化功能而量身定制的。增強的晶片機器人,具有先進的晶片處理能力,可確保減少晶片刮擦,而集成的晶片處理單元有助於降低芯片損壞的風險。在蝕刻方面，490機采用了一種創新的熱控等離子體均勻性控制工具（PUC）來微調和控制蝕刻參數，從而在各種材料和基材上獲得最佳效果。此外,LAM RESEARCH 490資產還包括一個獨特的基材可配置的預清潔工藝模塊（PCPM）,用於優化各種基材上的工藝殘留物。490設備的魯棒性控制模型保證了晶片對晶片的高度可重復性和可重復性。這有助於在優化生產效率的同時最大限度地減少與工具和用戶相關的變化。LAM RESEARCH 490系統隨附的過程控制軟件旨在幫助用戶優化蝕刻、輪廓和線性性能，同時提供實時查看和處理日誌的能力。490單元還配備了先進的安全監控機器（SMSC），允許操作員進行幹預，並在需要時采取糾正行動，從而大大減少發生任何事故或晶片處理不當的機會。此外，該工具還提供了一個內置的維護模塊，可幫助用戶跟蹤和管理維護記錄以及安排維護間隔，幫助確保資產得到良好維護和無故障運行。為了利用最佳的蝕刻性能，LAM RESEARCH 490包括高端射頻發生器和廣泛的等離子體選項。先進的射頻發生器通過提供各種射頻功率級別,最大程度地靈活和控制蝕刻過程。此外,該模型還具有多種高級選項,如多晶片蝕刻和超低間隙蝕刻,用於微調工藝參數,以最好地確保工藝的均勻性。綜上所述,490設備以其出色的均勻性和卓越的產品安全性,以及廣泛的強大功能,體現了先進的蝕刻和灰化能力。因此,系統是一個完美的選擇,對於具有苛刻蝕刻要求的半導體應用.