二手 LAM RESEARCH 490 #9262879 待售

LAM RESEARCH 490是一款中真空蝕刻器/asher，專為半導體制造業廣泛的沈積和蝕刻工藝而設計。該蝕刻器利用多種高壓低溫氣源，可以精確控制工藝參數。490具有精確的氣體輸送、精確的壓力和溫度控制以及對源電源的精確控制。LAM RESEARCH 490可與多種不同的氣體一起使用，包括FEP（氟化乙烯丙烯）、CF4（四氟化碳）、CHF3（氯三氟甲烷）、Ar（氙氣）等氣體。490有兩級真空設備，包括真空泵腔室和2束離子束腔室。真空泵腔室具有10mT的極限真空水平，並配備了MechanicalTurbo-Molecular泵來維持這種真空水平。兩束離子束腔包含一個擴散泵，它為樣品提供穩定、均勻的離子分布。離子束腔還包含一個高能離子源，能夠產生高達50keV的離子。LAM RESEARCH 490還有一個定制設計的氣體管理系統（GMS），它提供對真空過程室內氣體成分和流量的精確控制。GMS允許廣泛的過程參數，從低壓到大氣壓。GMS還包括一個獨特的功能，稱為電源控制接口（PCI），它允許直接控制源電源，獨立於氣體流量。490額定用於多種基材，包括矽、石英和陶瓷。它還能夠容納各種樣本量和形狀。LAM RESEARCH 490有廣泛的可用工藝流速，從低到高。總而言之，490是一種中真空蝕刻器/灰化器，通過其兩級真空單元、定制設計的氣體管理機和電源控制接口對工藝參數進行精確控制。它能夠處理各種基材，並提供各種可用的工藝流速。