二手 LAM RESEARCH 490 #9268075 待售

LAM RESEARCH 490是一種等離子蝕刻/asper設備，設計用於生產和研究。具有先進的工藝控制和密室均勻性,具有較高的吞吐量.該系統能夠對硬質和軟質材料（如氧化物和氮化物）進行高性能蝕刻/蝕刻。蝕刻和瀝青的精確度很高。腔室具有緊密的均勻性，使其堅固易用。該裝置還配備了用於精密蝕刻和瀝青的等離子體診斷和高度精密的工藝控制機器。反應堆配有等離子體源和專門為不同材料的蝕刻或瀝青而量身定制的電極陣列。等離子體由註入室內的氣體，如氯、六氟化硫和氧氣的混合物產生。腔室通常充滿所需的工藝氣體，泵入和泵出以保持最佳壓力和溫度。可以更改各種工藝參數以優化工藝。可以調整腔室的壓力、溫度和直流偏壓，以獲得所需的蝕刻和瀝青速率。還可以調整參數以微調產品的蝕刻質量和輪廓。腔室還可以預設為所需的設置,以便在生產周期中進行完整的過程控制。該工具還配備了安全功能，如氣體探測器和壓力調節器。氣體探測器允許在檢測到有害氣體時關閉資產，同時壓力調節器確保腔室壓力和溫度保持在必要的範圍內。490是一個先進的蝕刻和asper模型，為硬質和軟質材料提供可靠和精確的蝕刻/塗抹。它結合了先進的工藝控制和嚴密的腔室均勻性，成為生產和研究過程的有效工具。