二手 LAM RESEARCH 490 #9398854 待售

LAM RESEARCH 490是一種高性能蝕刻/灰分解決方案,旨在滿足制造業的需求。該單元由一個加工室、支撐架、電源、安全互鎖和隔離閥組成。加工室配有氣體管理設備和化學輸送系統，可精確控制各種工藝條件。其平臺技術采用了最新的陶瓷包裝基板，以及一系列針對矽、鋁、銅等材料的蝕刻和沈積系統。該加工室包含一系列可調參數，以便能夠定制蝕刻和沈積剖面，以獲得最佳性能。例如，溫度可以控制在20°C至1000 °C，底物溫度可以控制在300°C至2000 °C。壓力範圍從1毫巴到500毫巴，而工藝氣體類型可以選擇，He、Ar或O2。氣體流速可通過調整，視工藝需要而定。提供了壓力表和溫度表，能夠實時讀取工藝條件。該單元還配備了幾個提高安全性的功能，如前置柵欄、遠程襯裏開關和靜電放電（ESD）控制單元。它通過提供人員保護和預防危險，確保遵守現行安全條例。此外,490的設計具有較低的熱預算,可降低樣品降解的風險。LAM RESEARCH 490還有一個三自動化端口選項，可以方便地維護和維修其組件。此功能使其成為快速安裝和無縫操作的理想解決方案。總體而言，490是一臺多應用晶圓加工機，能夠在各種基板上進行各種蝕刻和沈積工藝，使其成為滿足半導體和制造業燒蝕和制圖需求的必不可少的資產。結合其可靠、節能的性能,它可作為一種高效、經濟高效的解決方案,滿足行業的蝕刻和沈積需求。