二手 LAM RESEARCH 490 #9399666 待售

LAM RESEARCH 490是一款先進的蝕刻/asher設備,專為大批量生產而設計,周期時間快,吞吐量增加。該系統非常適合於高精度透厚蝕刻或灰化。其直驅高速發電電機提供卓越的重復性、吞吐量和產量。490是一種極其快速可靠的設備,配置為最大限度地減少停機時間並最大化性能。LAM RESEARCH 490利用等離子體蝕刻/灰化技術,利用等離子體腔室和石英或陶瓷蝕刻/灰分掩模,非常適合DRAM ILD蝕刻或MEMS I型蝕刻等應用。它的開放式框架設計確保了優化的刀具訪問,內置了鋁制通道,可實現快速靈活的刀具對晶圓板交換。490專為大批量生產而設計，其先進的底物處理特性如子室裝卸、底物傳遞臂和自動掩蔽，使其成為提高操作生產率的理想解決方案。LAM RESEARCH 490還配備了先進的工藝監測機、強大的真空工具和自動等離子體調諧算法,有助於確保一致的蝕刻/灰燼質量。此外,該資產還具有最大的可重復性,具有快速的電池板交換功能以及廣泛的基板尺寸和形狀。對於最具挑戰性的基板的均勻、高精度蝕刻或粉刷，490蝕刻器/粉刷是理想的選擇。LAM RESEARCH 490具有恒定的等離子體參數、改進的均勻性和增加的吞吐量,是進行堅韌蝕刻或灰分作業的理想選擇。