二手 LAM RESEARCH 490B #293829120 待售

LAM RESEARCH 490B是一種濕式化學蝕刻設備，設計用於在矽和玻璃基板上制造高精度的微結構。它有一個主動幹燥站，在蝕刻過程中有助於防止液體溶液蒸發和直接接觸引起的積水和沈積物汙染。該系統由一個控制櫃、一個蝕刻罐和一個劑量泵組成。控制櫃包含液晶屏和用於編程蝕刻過程的編號符號鍵盤。蝕刻罐為不銹鋼容器，底部呈錐形，確保適當去除蝕刻劑。與蝕刻罐相連的劑量泵用於分配調節量的蝕刻溶液。LAM RESEARCH 490/B能夠在-40°至80°C的溫度下蝕刻，並且能夠加工200 mm以下的基板。該單元還包括一個7 µm的精密噴嘴，這有助於確保在表面均勻蝕刻，以及一個自動超聲機器後蝕刻清潔。490B還配備了高級等離子體系統技術（APST）模塊,該模塊有助於進一步提高蝕刻均勻性,減少蝕刻速率變化,並能夠將蝕刻時間控制在毫秒以內。此外,490/B還具有多種安全功能,如減壓閥、緊急停止按鈕、可聽警報和溫度傳感器,以保持最佳蝕刻條件並確保操作員的安全。LAM LAM RESEARCH 490B蝕刻工具是在聚合物、矽和玻璃基板上制造高精度微結構的理想選擇。