二手 LAM RESEARCH 490B #9112925 待售

LAM RESEARCH 490B
ID: 9112925
晶圓大小: 6"
Dry etcher, 6".
LAM RESEARCH 490B是一種用於研究、開發和生產高性能電子產品的等離子體蝕刻器/asher。此模型非常適合需要在各種形狀、大小和材料的基板上進行平滑甚至蝕刻的應用。它具有正交、可調電壓、非諧振、全金屬高頻離子源,產生高速、均勻的蝕刻過程。LAM RESEARCH 490/B還具有一個自動基板對準系統,以加快基板加載時間,以及廣泛的控制參數,以加強對過程的控制。490B設計為易於配置並從觸摸屏終端操作。490/B具有廣泛的等離子體蝕刻功能,從厚膜上的深蝕刻到薄膜上的淺蝕刻。它可以蝕刻多種材料,包括金屬、玻璃、聚合物和陶瓷,使其在多種環境下用途廣泛。LAM RESEARCH 490B還提供了一個可選的低溫等離子體蝕刻器(LTPE),可用於蝕刻高度敏感材料或需要低溫的工藝。該模型還提供了改進的蝕刻均勻性,增加了內部混合器以均勻混合基板周圍的工作氣體。LAM RESEARCH 490/B可與多種流行的蝕刻化學物質一起使用,包括四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)、氧氣(O2)、氙氣(Ar)和氯氣(Cl2)。490B還具有潔凈的房間兼容性,這使得它可以安全地在敏感區域使用。為確保安全,該系統構建了多種安全功能,包括雙向隔離、氣體檢測、冷卻系統以及多個安全聯鎖。490/B是創建具有卓越性能特性的產品的基本工具。其先進的蝕刻技術可以在高速下產生精確的蝕刻圖樣,具有極高的重復性。LAM RESEARCH具有廣泛的功能、用戶友好的功能和安全功能490B是眾多應用程序的理想蝕刻器/攻絲器。
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