二手 LAM RESEARCH 496B #9268074 待售

LAM RESEARCH 496B是一種蝕刻器/灰化器，用於單晶和多晶晶片的蝕刻和灰化。該平臺用於蝕刻各層薄膜，如光致抗蝕劑，用於圖樣定義和在氧化物層內創建某些結構。這類蝕刻器/asher利用電磁波激發反應器室內的氣態分子，引起分子分解和反應，導致蝕刻或灰化過程。496B有一個由不銹鋼制成的腔室，設計成可以經久耐受腐蝕。腔室由直流電源供電。此蝕刻器/asher的設計目的是提供精確、可靠和可重復的工藝結果。晶片暴露於腔室內的一系列氟基化學物質中，從而產生了一種高度可選擇的蝕刻工藝，可以根據正在加工的特定基材的需要進行精確的定制。它還具有多項安全功能，包括內置氣體監測設備和安全聯鎖系統。LAM RESEARCH 496B能夠蝕刻/灰化直徑不超過12英寸的晶片,每批最多可處理8個晶片。它具有一個自動晶片傳輸單元，允許晶片從盒式磁帶快速移動到蝕刻器/asher並再次返回。該機器有一個帶有直觀軟件的控制計算機,允許自定義蝕刻/灰化參數。此蝕刻器/asher的設計目的是提供最大的過程靈活性和可重復性,同時減少浪費和停機時間。該工具經過了廣泛的測試和驗證，以確保過程的準確性和可重復性以及安全標準。496B提供實驗室級的準確性和性能,以確保高產量和低擁有成本。