二手 LAM RESEARCH 571-065780-702 #293668180 待售

LAM RESEARCH 571-065780-702是一種高性能、多區域的蝕刻器/asher,專為非揮發性蝕刻和/或清潔加工而設計。該設備除了兩個獨立的、集成的、高真空工藝模塊外，還包括多種全晶片單原子和氣動晶片處理能力。這些模塊包括蝕刻和asher功能,允許在蝕刻和asher操作之間進行必要的快速更改。獨立的工藝模塊提供了靈活性和改進的吞吐量,每個模塊最多可容納兩個晶圓,從而延長了蝕刻和清潔時間。每個工藝模塊包括一個負載鎖定室、基板傳遞室、冷凍蝕刻/沈積室和一個高能等離子體室。傳輸室配置為在標準載波上安裝一個300 mm晶圓。載波可以很容易地適應其他晶圓尺寸。該發動機包括多個氣體分配歧管，以增強工藝的均勻性和控制性，並能夠支撐多達四個屏蔽氣源，以提高工藝靈活性。蝕刻器/asher裝有超高疫苗泵以方便高真空性能，這是生產高質量蝕刻所必需的。流程窗口可以通過流程控制系統進行調整，提供改進的流程控制和統一性。正如LAM RESEARCH系統所期望的那樣，高精度晶圓傳遞單元提供了平滑、精確的運動。可調晶圓定位器具有很高的可重復性和晶圓放置精度。總體而言,571-065780-702是一款高度先進的多區域蝕刻器/asher,專為滿足各種蝕刻和處理需求而設計。它提供了改進的流程一致性、可靠性和吞吐量,以及高級流程控制軟件。精密晶圓轉換機保證了極好的重復性和準確性，而廣泛的氣體分配通道保證了精密的過程控制。它是實現高質量蝕刻的絕佳選擇，在工業應用中極力推薦。