二手 LAM RESEARCH 571-065780-703 #293668173 待售

LAM RESEARCH 571-065780-703是專門為等離子體蝕刻應用而設計的蝕刻器/asher。該模型具有較高的性能，其高效的20 MHz振蕩器可產生純凈的低壓等離子體，從而優化蝕刻速率和質量。自成一體的設計融合了三極管型電子轟擊離子源、工藝室和高性能氣體分配網絡。采用先進的單口袋設計，在蝕刻區內實現壓力、溫度和氣體分布的高均勻性。該型號還具有自動避免卡盤和自動晶圓傳輸設備。這種功能的組合保證了在各種工藝條件下提高蝕刻質量。571-065780-703還具有一個先進的雙室處理室,使兩個並行進程能夠同時運行。在執行多個進程時,此功能可實現更高效的吞吐量以及更高的質量和吞吐量。該工藝室還包括一個熱屏障，作為來自等離子體的保護屏蔽，確保整個工藝區域的溫度均勻。還包括熱電冷卻系統，以減少由等離子體引起的加熱效果。整個單元封閉在低材料環境中，進一步提高了蝕刻效率和產品質量。LAM RESEARCH 571-065780-703還配備了先進的控制軟件，允許自動化的過程控制和配方技術以獲得最佳的蝕刻結果。這臺機器包括直觀的人機界面，能夠對蝕刻工藝參數和配方進行高效、精確的控制。此外,這種最先進的控制工具允許用戶根據各自的生產需求和要求自定義蝕刻參數。總體而言，571-065780-703是高流量等離子體蝕刻應用的無懈可擊的蝕刻器/灰化器。它以其高效、卓越的工藝控制以及在廣泛的蝕刻條件下保證質量和均勻性的能力而聞名。