二手 LAM RESEARCH 580 #9268110 待售

LAM RESEARCH 580是一種蝕刻/粉碎器設備,旨在使集成電路制造商能夠在其制造過程中以更高效、更準確的方式處理蝕刻和粉碎層。該系統采用先進水平檢測、蝕刻、灰分技術的工藝細微差別設計，保證了在眾多行業應用的高質量生產。它提供了一個能夠進行多種工藝步驟的集成單元，包括光刻、蝕刻、蝕刻、計量和灰燼。該機處理面積大，為330毫米x 330毫米，可容納各種晶片，直徑可達500毫米。580具有功能豐富、高效、精確的運動控制能力,由高性能直線電動機提供動力,可提供位置、速度和力控制,在精度和可靠性方面均達到最佳效果。還包括一個自動晶圓對準工具，旨在提高整個過程的精度和準確性。該資產還提供各種蝕刻和灰分化學物質，以提供最大程度的加工靈活性。此外,LAM RESEARCH 580還提供了多種專有配方和工藝工具,如OPC模式處理、弧形條紋專用源和位置糾錯。這些工具有助於提高蝕刻精度和吞吐量。該模型還采用了先進的計量和檢查工具，如最先進的光學、電容和電阻傳感器，以最大限度地提高晶圓質量，最大限度地減少浪費和返工。此外，這一設備還具備若幹安全和環境特點，包括內部化學品管理系統、惰性氣體凈化和安全密封選項。這些功能有助於確保安全和環保操作。580是一個可靠、功能豐富的單元,旨在滿足各種應用程序的工藝要求。它可以提供一套功能和工具,使光刻、蝕刻、灰燼和計量過程步驟易於使用且價格合理。